學術研究單位UHV超高真空腔體
先進製程的開發初期都需要在實驗室進行許多測試，Htc日揚真空製造之客製化真空腔體裝配於多種實驗設備，為研究者提供了適當的工具以進行各項實驗。Htc日揚真空已建立的實績包括各種實驗用真空鍍膜腔體、太空模擬裝置、表面分析系統、光學量測系統及氣體檢測設備等，另外也承製了國內外同步輻射中心超高真空系統的腔體。
歡迎聯繫我們，Htc日揚真空樂意為您提供UHV超高真空腔體解決方案。
產品案例
電子束分析設備16”球型UHV超高真空腔體
臺灣中科院電子束分析設備16”球型超高真空腔體
材質：S.S.304
表面處理：電解拋光
規格：16” 球型UHV超高真空腔體
洩漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作壓力<5 x10-10 torr
Flange 角度對心誤差 < 0.5ﾟ
