全金屬閥門 All-Metal Valve

全金屬閥門(Bakeable All-Metal Valve)是屬提昇錐閥的一種。當提昇錐被頂至頂端時, 閥門內部的結構腔是開放系統且氣體流動不受阻礙。一旦提昇錐被移動至閥門底部時,銅墊片之密封墊被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。Htc日揚真空提供之全金屬閥門設計適用於超高真空的環境下,其封止用的墊片是可耐大溫差之金屬墊片。Htc日揚真空設計所有系列全金屬閥門適用於真空排氣系統、高真空應用的抽氣系統、半導體技術與研究系統等。

• 工作溫度範圍：可烘烤至：400℃（開），300℃（閉）
• 低溫到： - 200C
• 壓力範圍：1x10^-10 mbar 到1000 mbar
• 全不銹鋼結構。
• 洩漏率：5x10^{- 10} mbar·l/sec.
• 封扭矩：
  　CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
  　CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
  　CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.
• 方向：任意位置。

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