真空閥門
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真空閥(Vacuum Valves) - Y型閥(氣動)是屬提昇錐閥的一種。當提昇錐被頂至頂端時, 閥門內部的結構腔是開放系統且氣體流動不受阻礙。一旦提昇錐被移動至閥門底部時,橡膠密封圈被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。
Htc日揚真空(Htc Vacuum) 提供各式形式尺寸的真空Y型閥。它們有手動和氣動，有軟管與無軟管。接口端可以焊KF, ISO, CF法蘭。Htc日揚真空設計所有系列角閥適用於真空排氣系統、高真空應用的抽氣系統、半導體技術與研究系統等。
- 本體: 不鏽鋼304S.S. (可依客戶要求提供其它材質)
- 提昇錐: 不鏽鋼304S.S. (可依客戶要求提供其它材質)
- 接口端外徑: 3/4 ~ 8 英吋
- 軟管: Welded AM-350 (選配)
- 開關指示裝置: (選配)
- 電磁閥: (選配)
- 密封: Viton O型環材質
- 漏率: 2×10-9 mbar-l/sec
- 使用壓力範圍: 1×10-9 mbar 到1000 mbar
- 最大使用壓差: 1.2 Bar
- 作動氣壓: 4 ~ 6.5 kg/cm2
- 保固壽命: 3/4 to 2 inch -- 500,000 times
2.5 to 6 inch -- 250,000 times - 耐溫限制:
烘烤溫度
閥門本體
O型圈密封
Open ≤ 100℃
Close ≤ 100℃
金屬密封
Open ≤ 200℃
Close ≤ 150℃
手動式和氣動式
≤ 80℃
保固條件
- 自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
- 操作環境限於空氣, 惰性氣體及真空
- 因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固範圍內
我們可以提供更大或特殊的規格,請透過聯絡我們提供圖面，我們的業務專員將會與您聯絡與報價。
真空閥門的種類有角閥、擋板閥、閘閥、球閥、止回閥、蝶閥、鋁合金閥...等，操作方式通常會有手動、氣動及電動三種。這些真空閥門會依其功能性質的不同，分別被使用於粗真空、低真空、高真空及超高真空等不同真空環境。
真空閥門廣泛應用於光電半導體精密製程、先進之TFT-LCD、薄膜太陽能、太陽能電池製程高真空腔體基本構造。
特殊規格真空閥門的客製或訂製，歡迎來函ec@high-light.com.tw洽詢。
真空閥門規格
- 閥門本體: 304 S.S. (Other material available upon request)
- 閥芯: 304 S.S. (Other material available upon reques)
- 波紋管: Welded AM-350 (option)
- 電磁閥: Option
- 位置指示器: Option
- 密封件: Viton Oring
- 洩漏率: 2x10-9 mbar.l/sec
- 壓力範圍: 1x10-9 mbar 到1000 mbar Viton seal bonnet
- 打開前的最大壓力: 1.2 bar
- 打開氣壓: 4~6.5 kg/cm2
- 作動壽命:
Bellows type: 16 to 50~500,000 ; 63 to 150~250,000
No Bellows type: 10 to 50~200,000 ; 63 to 150~100,000 (Depend on Oring condition)
No Bellows type: Suggest to install in vertical orientation
200 to larger~application dependent - 烘烤温度範圍:
閥本體 O形環密封 Oring bonnet seal 開 Open ≤ 100℃ 關 Close ≤ 100℃ 金屬密封 Metal bonnet seal 開 Open ≤ 200℃ 關 Close ≤ 150℃ 手動和氣動 Manual and pneumatic actuator ≤ 80℃ - 大型或特殊尺寸的真空閥門可依需求訂製
